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1700℃真空高溫管式爐技術特征

更新時間:2025-11-25      瀏覽次數:237

1700℃真空高溫管式爐作為更高溫級別的精密熱加工設備,多以硅鉬棒為加熱元件、高純剛玉管為爐管,且強化了溫控與真空密封系統,僅能短時(通常≤0.5h)維持 1700℃高溫,長期常用溫度多在 1600 - 1650℃,適配難熔材料、功能材料的精密加工與前沿科研,以下是其核心信息詳解:

核心結構與關鍵參數

核心部件配置及參數詳情

加熱與測溫加熱元件以 1800 級硅鉬棒為主,適配超高溫工作需求;搭配 B 型雙鉑銠熱電偶測溫,搭配 PID 智能溫控儀,控溫精度達 ±1℃,支持 30 - 50 段可編程控溫,還具備超溫、斷偶報警功能。

爐體與爐膛多為雙層殼體搭配風冷循環系統,爐體表面溫度可控制在 60℃以下;爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維,部分表面涂有進口高溫氧化鋁涂層,既提升熱效率又延長壽命,常見加熱區長度 290 - 300mm。

爐管與真空標配 99.8% 高純剛玉管,常規尺寸為 Φ60×1000mm,也可定制更大管徑;搭配機械泵時真空度可達 5×10?3Pa,選配羅茨泵或分子泵后可提升至 1×10?? - 10??Pa,爐管兩端配不銹鋼真空法蘭保障密封性。

升溫規范不同溫度區間有嚴格限制,如 1400℃以下≤10℃/min,1400 - 1600℃≤5℃/min,1600℃以上≤2℃/min,避免升溫過快損壞元件與爐管。

核心應用領域

難熔金屬與陶瓷加工:適配鎢、鉬、鉭等難熔金屬的熱加工,通過高溫真空環境改善其組織結構,提升力學性能;也可用于碳化硅纖維增強陶瓷基復合材料的燒結,以及高性能陶瓷電容、傳感器的致密化處理,避免加工過程中材料氧化或污染。

半導體與電子功能材料:可用于單晶硅、砷化鎵等單晶半導體材料的生長,還能對碳化硅晶圓做高溫退火,消除晶格缺陷;同時適配釔鋁石榴石基熒光粉合成、陶瓷基電子元件燒結等工藝,保障電子材料的電學性能與穩定性。

新能源與超導材料研發:用于鋰電池正極材料的深度提純,去除殘留有機物與水分,優化晶體結構;也可在特殊氣氛下制備氫燃料電池極板,還能完成釔鋇銅氧等超導材料的高溫固相反應合成,助力提升材料核心性能。

前沿科研與特種加工:是高校和科研院所研究材料高溫相變的核心設備,比如觀察二氧化硅晶型轉變、測試高溫合金蠕變性能等;還可搭建 CVD 系統制備碳納米材料、石墨烯等;部分淬火機型可實現樣品高溫下快速淬火,用于研究材料相變與微結構性能。

使用與維護要點

使用壽命:整機常規壽命 3 - 6 年,比 1600℃機型更短。硅鉬棒在 1650℃長期工作下壽命約 600 - 1000 小時;剛玉爐管正常使用約 1.5 - 2 年,若頻繁熱震或接觸腐蝕性氣體,壽命可能縮短至 1 年以內;密封圈等耗材壽命約 0.8 - 1.2 年。

維護重點:避免長時間在 1700℃極限溫度運行,單次極限溫度工作不超 30 分鐘;每次高溫使用后需程序降溫,嚴禁直接停機;每 50 次高溫循環后檢測剛玉管狀態,定期清理爐管內雜質,通入反應氣體后需用惰性氣體吹掃爐膛;每 3 - 6 個月檢查硅鉬棒氧化情況與法蘭密封性。


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