高溫真空氣氛爐是在真空環境中進行加熱的設備，一般由爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統、供電系統和控溫系統等組成。高溫真空氣氛爐按加熱元件分為真空電阻爐、真空感應爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐和等離子爐等。高溫真空氣氛爐一般在春秋季節泄漏故障較多，長期閑置的高溫真空氣氛爐在才次使用時高溫真空氣氛爐泄漏故障比較易發生。這時間就必須進行真空檢漏，真空檢漏一般采取每月一次測壓升率（在常溫下，關閉所有真空閥，停止真空系統運轉，1Omin后讀一個數，1h后再讀一個數，兩數之差是壓升率的數值），掌握設備泄漏變化趨勢，如真空設備連續停機一個禮拜，要空運轉一次（進行烘爐）。

    工件--工件車須經清洗干燥后方克進入爐內，防止水份、污物進入爐內。各傳動件發現卡位，限位不準，控制失靈等現象時，應立即排除，不要強操作，以免損壞機件。不能超負荷使用高溫真空氣氛爐，高溫真空氣氛爐的zui高使用溫度是指元件在真空中允許的本身表面溫度，并不是指加熱物質的溫度或加熱元件周圍的溫度。要注意真空電熱元件本身的溫度一股比它周圍的介質溫度或被加熱溫度高100℃。

    測量高溫真空氣氛爐溫均勻性時，應注意測溫觸點的定位捆綁方式，以及距加熱元件的遠近。高溫真空氣氛爐內經常（至少每天或每班使用前）用毛刷、掃帚或壓縮空氣、吸塵器等清潔爐膛，要防止爐內氧化皮等雜質掉在電熱元件上，發生短路，甚至燒壞鉬加熱棒。底板、鉬加熱棒、爐保溫層等耐熱鋼構件每使用一段時間，應該進行清理，嚴禁敲擊，可小心清除其氧化皮。氧化鐵皮等雜質如不及時清除，就會熔融處與保溫層發生打火，使鉬絲熔化。